エックス線光電子分光分析装置（XPS）
本所（松江市北陵町）
機器開放対応：◯
お問合せ・申込先 化学応用科：0852-60-5125
使用料 3330円 / 時間
データ
一定エネルギーの軟Ｘ線を試料表面に照射し、光電効果により放出される光電子をエネルギーアナライザーで計測する装置。試料表面を構成する原子や分子の化学結合状態や電荷分布などの情報を得ることができます。組成分析、状態分析、深さ方向の分析などに対応可能です。（XPS、ESCAとも称されます。）
スペック
| メーカー | クレイトス |
|---|---|
| 型式 | AXIS-HSi |
| 分析可能元素 | Li～U |
| 分析面積 | 30μmφ～1mmオーダーφ |
| 分析深さ | 数nm |
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| 試料サイズ | 25mm角以下および高さ10mm以下 |
|---|---|
| イメージング | 元素像および化学状態像（30μm分解能） |
| X線源 | Mg特性X線およびモノクロ Al-Kα線 |
| イオン銃 | Arイオンエッチング |
| 導入年度 | 平成14年 |
試料導入の様子(左：粉体試料、右：銅箔)
主な用途
・コーティング剤、表面改質層の分析、濡れ性/撥水性の評価・汚染物質、変質の要因調査・表面酸化膜、不動態膜の膜厚管理
測定チャンバー内の様子
