3次元計測電子顕微鏡

データ

数千倍での表面観察や観察部位の元素分析を行う装置。
元素分析はポイントごとの定性分析、視野内の線分析、マッピング分析が可能です。
基準画像と傾斜画像の組み合わせにより、3D表示ソフトを使用した3次元計測も可能です。