グロー放電発光分光分析装置

本所（松江市北陵町）

機器開放対応：◯

お問合せ・申込先 金属技術科：0852-60-5123

使用料 2800円 / 時間

データ

アルゴンイオンによるスパッタリングで飛び出した原子の発光を、分光測定することによって深さ方向の元素分析（定性分析）を多元素同時に行う。

メーカー	堀場製作所
型式	JY-5000RF
アノード径	Φ4mm
測定可能元素	35元素（H,Li,Be,B,C,N,O,F,Na,Mg,Al,Si,P,S,Cl,K,Ca,TiV,Cr,Mn,Fe,Co,Ni,CuZn,Sr,Y,Zr,Nb, Mo,Sn,W,Au,Pb）
試料形状	平面部（15×15mm 以上を推奨）を有する固体試料
印加ガス	高純度アルゴン（99.9999%）
取り込み間隔	最小0.001秒
深さ方向分解能	数nm ～（試料による）
導入年度	平成17年度

分析試料

めっき層、浸炭、窒化処理品、PVD、CVD膜などの深さ方向定性分析

Ni-Pめっき層の測定例