グロー放電発光分光分析装置
本所(松江市北陵町)
機器開放対応:◯
お問合せ・申込先 金属技術科:0852-60-5123
使用料 2800円 / 時間

データ
アルゴンイオンによるスパッタリングで飛び出した原子の発光を、分光測定することによって深さ方向の元素分析(定性分析)を多元素同時に行う。
スペック
メーカー | 堀場製作所 |
---|---|
型式 | JY-5000RF |
アノード径 | Φ4mm |
測定可能元素 | 35元素 |
試料形状 | 平面部(15×15mm 以上を推奨)を有する固体試料 |
印加ガス | 高純度アルゴン(99.9999%) |
取り込み間隔 | 最小0.001秒 |
深さ方向分解能 | 数nm ~(試料による) |
導入年度 | 平成17年度 |
分析試料
主な用途
めっき層、浸炭、窒化処理品、PVD、CVD膜などの深さ方向定性分析
Ni-Pめっき層の測定例