集束イオンビーム加工装置

データ

Gaイオンビームによるエッチング加工により、数μmオーダーの超微細な断面加工や任意箇所の試料切り出しなどを高精度で行うことができます。またSEM-EDXで試料断面の成分分析する際の前処理としても活用できます。