金属技術科

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集束イオンビーム加工装置

本所(松江市北陵町)

機器開放対応:◯

お問合せ・申込先 金属技術科:0852-60-5123

使用料 3480円 / 時間

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集束イオンビーム加工装置

DATA データ

Gaイオンビームによるエッチング加工により、数μmオーダーの超微細な断面加工や任意箇所の試料切り出しなどを高精度で行うことができます。またSEM-EDXで試料断面の成分分析する際の前処理としても活用できます。

SPEC スペック

メーカーエスアイアイ・ナノテクノロジ
型式SMI3050
イオン源ガリウム液体金属ニードル型イオン源
加速電圧5~30kV(5kVステップ)
二次電子分解能4nm

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最大プローブ電流20nA
最大プローブ電流密度30A/cm2以上
試料サイズ

50mm角、厚さ12mmまで(標準試料ホルダ使用)

導入年度平成17年度

標準試料ホルダ

標準試料ホルダ

USAGE 主な用途

めっき膜、コーティング膜、積層シート、プリント配線板などの断面加工と観察

加工後の断面観察例

加工後の断面観察例

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