高分解能分析走査電子顕微鏡
本所（松江市北陵町）
機器開放対応：◯
お問合せ・申込先 金属技術科：0852-60-5123
使用料 4560円 / 時間
データ
電解放出形の走査電子顕微鏡で様残な材料の表面を数十万倍の高倍率で観察できる装置。
また、ショットキー形電子銃の採用により大照射電流を得ることができ、安定した元素分析が可能です。
EBSD検出器も備えているため、平滑面の結晶方位解析も行えます。
スペック
| メーカー | 日本電子 |
|---|---|
| 型式 | JSM-IT800SHL |
| 電子線源 | ショットキー電界放出形電子銃 |
| 加速電圧 | 0.01～30kV |
| 観察倍率 | 10～2,000,000倍 |
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| 観察用検出器 | SED(二次電子検出器)、BED(反射電子検出器) UED(上方検出器)、UHD(上方ハイブリッド検出器) |
|---|---|
| その他検出器 | EDS（エネルギー分散型特性X線検出器） EBSD（電子後方散乱回折検出器） |
| 検出元素 | Be～U |
| 導入年度 | 令和２年度 |
各種試料ホルダー
主な用途
・金属等の表面形状や合成した超微粒子等の高倍率観察
・試料表面の任意の点の定性分析
・観察視野の元素マッピング
・観察視野の結晶方位観察
断面の観察像および元素マッピング例
