非接触表面形状測定機
本所（松江市北陵町）
機器開放対応：◯
お問合せ・申込先 生産技術科：0852-60-5225
使用料 1340円 / 時間
データ
試料表面の形状や粗さを非接触・非破壊で定量的に評価する装置。顕微鏡タイプで、視野面の一括走査により極めて短時間で三次元表面形状測定が可能です。照射光源となる白色光波長を基準スケールとするため高い分解能を有しています。
ISOで定められる各種3D,2D粗さパラメータ評価に対応しています。
スペック
| メーカー | Zygo |
|---|---|
| 型式 | NewView7300 |
| 稼働範囲 | X 150mm × Y 150mm × Z 100mm |
| 視野 | 0.07 × 0.05mm ～ 14.14 × 10.6mm |
| 垂直走査距離 | ～ 150μm（拡張スキャンで最大20mmに対応） |
| 垂直測定分解能 | 0.1nm、3nm、20nm（測定モードによる） |
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| レンズ倍率 | 対物：0.5、2.5、10、50倍 |
|---|---|
| 導入年度 | 平成24年度 |
主な用途
・加工面、表面処理面等の表面性状評価
・コーティング、メッキ等の膜厚（段差）評価
球状黒鉛鋳鉄の研磨後腐食面の評価事例
