精密形状粗さ測定システム

データ

対象面上を滑らせた触針の上下動を検出し得られた断面曲線から、表面性状（あらさ、うねり等）および形状を評価します。
上下面測定可能な針圧調整機構付きレーザー干渉型ピックアップの採用により、様々な形状に対応可能で、広い測定範囲と高い分解能を両立しています。