有機技術科

現在の位置:トップ / 設備・機器 / 保有設備・機器 / 有機技術科 / エックス線光電子分光分析装置(XPS)

エックス線光電子分光分析装置(XPS)

本所(松江市北陵町)

機器開放対応:◯

お問合せ・申込先 有機材料科:0852-60-5122

使用料 3330円 / 時間

印刷ページ

エックス線光電子分光分析装置(XPS)

DATA データ

一定エネルギーの軟X線を試料表面に照射し、光電効果により放出される光電子をエネルギーアナライザーで計測する装置。試料表面を構成する原子や分子の化学結合状態や電荷分布などの情報を得ることができます。組成分析、状態分析、深さ方向の分析などに対応可能です。(XPS、ESCAとも称されます。)

SPEC スペック

メーカークレイトス
型式AXIS-HSi
分析可能元素Li~U
分析面積30μmφ~1mmオーダーφ
分析深さ数nm

詳細情報を表示 詳細情報を非表示

試料サイズ25mm角以下および高さ10mm以下
イメージング元素像および化学状態像(30μm分解能)
X線源Mg特性X線およびモノクロ Al-Kα線
イオン銃Arイオンエッチング
導入年度平成14年

試料導入の様子(左:粉体試料、右:銅箔)

試料導入の様子(左:粉体試料、右:銅箔)

USAGE 主な用途

・コーティング剤、表面改質層の分析、濡れ性/撥水性の評価・汚染物質、変質の要因調査・表面酸化膜、不動態膜の膜厚管理

測定チャンバー内の様子

測定チャンバー内の様子

TOP