クロスセクションポリッシャー

本所（松江市北陵町）

機器開放対応：◯

お問合せ・申込先 金属技術科：0852-60-5123

使用料 1290円 / 時間

データ

アルゴンイオンを試料に照射し、試料表面の原子を弾き飛ばす（スパッタリング）ことで表面研磨を行う。

メーカー	日立ハイテクフィールディング
型式	IM-4000
加速電圧	0～6kV
使用ガス	アルゴン
最大ミリングレート	断面ミリング　約300µm/h（Si）平面ミリング　約2µm/h（傾斜60°、偏心4mm）
試料サイズ	断面ミリング　最大W20×D12×H7 mm 平面ミリング　最大Φ50×H25 mm
導入年度	平成23年度

加工時の様子

・光学顕微鏡や走査電子顕微鏡観察の試料作製・めっき層、塗装膜、電子部品などの試料断面の調整・機械研磨後の表面最終仕上げ

加工例