静電容量変位計
本所（松江市北陵町）
機器開放対応：◯
お問合せ・申込先 生産技術科：0852-60-5225
使用料 50円 / 時間
データ
非接触で物体の変位を測定可能な静電容量型変位計
センサ面と測定対象面間に形成される静電容量から面間距離の変位を非接触、高分解能、高速応答に測定します。
小型ヘッドを採用し、比較的小さな面の測定が可能です。
スペック
| メーカー | センテック （マイクロイプシロン） |
|---|---|
| 型式 | DT6112-300 |
| 帯域幅 | 20kHz |
| 動的分解能 | 0.03％FSO(20kHz時） |
| 導入年度 | 令和３年度 |
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| センサヘッド | φ8g6円筒型 ×２個 |
|---|---|
| 型式 | csh05-CAm1.4 |
| 測定範囲 | 0.5mm |
| 直線性 | ≦±0.13μｍ |
主な用途
金属面の高精度、高分解能変位評価 等
使用事例：工作機械回転主軸の振れ挙動測定
