生産技術科

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共焦点顕微鏡

本所(松江市北陵町)

機器開放対応:◯

お問合せ・申込先 生産技術科:0852-60-5225

使用料 1020円 / 時間

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共焦点顕微鏡

DATA データ

走査型共焦点光学系を利用した顕微鏡型観察・形状測定装置。
高い水平方向分解能(光源:短波長紫色レーザー)を持ち、従来の共 焦点顕微鏡に比べ、カラー情報取得や微分干渉観察機能等、多用途に対応します。

SPEC スペック

メーカーEvident
型式OLS5100-HSU

最大積載サイズ

X400mm × Y400mm × Z300mm 重量30Kg

測定視野サイズ□2,560μm~□128μm
測定正確性

平面(XY):測定値の±4.5%以内
段差(Z)  :0.45+L/100μm以下(L=測定長μm)

導入年度令和3年度

専用対物レンズ群

専用対物レンズ群

対物レンズ仕様

対物レンズ仕様

USAGE 主な用途

微細形状のカラー観察や試料表面の粗さ評価や微小段差の測定

各種機械加工面の評価事例

各種機械加工面の評価事例

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