共焦点顕微鏡
本所(松江市北陵町)
機器開放対応:◯
お問合せ・申込先 生産技術科:0852-60-5225
使用料 1020円 / 時間

データ
走査型共焦点光学系を利用した顕微鏡型観察・形状測定装置。
高い水平方向分解能(光源:短波長紫色レーザー)を持ち、従来の共 焦点顕微鏡に比べ、カラー情報取得や微分干渉観察機能等、多用途に対応します。
スペック
メーカー | Evident |
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型式 | OLS5100-HSU |
最大積載サイズ | X400mm × Y400mm × Z300mm 重量30Kg |
測定視野サイズ | □2,560μm~□128μm |
測定正確性 | 平面(XY):測定値の±4.5%以内 |
導入年度 | 令和3年度 |
専用対物レンズ群
対物レンズ仕様
主な用途
微細形状のカラー観察や試料表面の粗さ評価や微小段差の測定
各種機械加工面の評価事例